一、对材料表面的粒子轰击，物理作
等离子体中的在量离、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，
等离子表面清洗机不但清除了表面原有的污染和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细均匀的形貌，增大了样品的比表面。提高固体表面的附着性能。
二、激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在0-20eV，而聚合物中大部分的键能在0-10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网关的交联结构，大大地激活了表面活性。
三、形成亲的官能团，化学作用
如果放电气体中引入反应性气体，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，在活化的材料表面发生复杂的化学反应，这些官能团都是活性基团，明显提高材料的表面活性。
